真空蒸發(fā)等離子濺射二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-3Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小，節(jié)省空間，能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，一機(jī)多用，性價(jià)比突出，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。

名稱	高真空蒸發(fā)等離子濺射二合一鍍膜儀
型號(hào)	TN-EVS180S-HV
應(yīng)用	掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。
技術(shù)參數(shù)	供電電壓 AC220V，60Hz max大功率 1200W 樣品臺(tái) 直徑φ65mm； 與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm 真空腔體 材質(zhì)：304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm max高溫度 1700℃ 熱電偶 B型熱電偶 真空計(jì) 電子式真空計(jì) 真空系統(tǒng) 前級(jí)泵：浦發(fā)MVP030 無油泵   抽速30L/min 次級(jí)泵：萊寶TURBOVAC 90iX   抽速90L/s 真空接口 KF40 進(jìn)氣接口 1/4卡套接頭
規(guī)格	整機(jī)尺寸 500x350x400mm