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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
迷你石墨烯CVD實驗室設(shè)備采用1200℃迷你管式爐，功能齊全占地面積較小，迷你石墨烯CVD實驗室設(shè)備專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計。
詳情介紹：
○ 產(chǎn)品介紹
本套CVD系統(tǒng)專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計，采用1200℃迷你管式爐，配有高精度質(zhì)量流量計以及薄膜真空規(guī)。相比于常規(guī)的皮拉尼電阻規(guī)，薄膜規(guī)的讀數(shù)精準(zhǔn)，不受氣體種類影響，十分適合真空鍍膜工藝。同時設(shè)備配有可燃?xì)怏w檢測裝置，聯(lián)動出氣口電磁閥，一旦出現(xiàn)泄漏電磁閥即可自行關(guān)閉保證**。
該套設(shè)備功能齊全占地面積較小，十分適合實驗室制備CVD
○ 技術(shù)參數(shù)
1200℃迷你管式爐參數(shù)
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
| *大功率 | 2KW |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)200mm 恒溫區(qū)長 100mm |
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加熱元件 |
耐熱合金絲 |
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熱電偶 |
K型 |
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工作溫度 |
≤1150℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃ |
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控溫 |
方式AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護，精度+-1℃ |
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爐管 |
高純石英φ50mm O.D x 450mm L |
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真空系統(tǒng) |
機械泵 抽速1.1L/s 極限真空 5Pa |
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閥門類型 |
不銹鋼針閥 |
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氣路數(shù)量 |
三路 |
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承壓范圍 |
0.05~0.3MPa |
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量程 |
Ar 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm |
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流量控制范圍 |
±1.5% |
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混氣罐容積 |
750mL |
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氣路材料 |
304不銹鋼 |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
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供電電源 |
AC220V 50Hz |
○ 免責(zé)聲明
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